Els cartutxos de filtre de pols d'acer inoxidable amb interfícies de VCR 1/2" són components crítics en la fabricació de semiconductors, dissenyats específicament per a sistemes de distribució de gas d'alta-puresa. Aquests cartutxos de filtre utilitzen una tecnologia avançada de sinterització de pols metàl·liques per aconseguir una filtració precisa, capturant eficaçment partícules tan petites com 5 micres. Això garanteix el lliurament de gasos ultra{6} essencials per mantenir el procés integritat dels processos de fabricació de semiconductors sensibles. La interfície de VCR d'1/2" proporciona un segell-de metall-a-a prova de fuites, que compleix els estrictes requisits dels entorns de semiconductors on fins i tot les impureses de gas minúscules poden provocar defectes importants en els dispositius microelectrònics. La seva construcció robusta d'acer inoxidable-resistent a la corrosió garanteix durabilitat i fiabilitat-a llarg termini en condicions extremes.

En aplicacions de semiconductors, aquests cartutxos de filtre tenen un paper vital en la protecció d'equips aigües avall, com ara controladors de flux massiu i vàlvules de precisió, de la contaminació per partícules. En integrar-se perfectament a les línies de gas d'alta-puresa existents, simplifiquen la instal·lació i el manteniment alhora que minimitzen el temps d'inactivitat del sistema. La combinació d'alta eficiència de filtració, resistència química excepcional i segellat fiable els fa indispensables per garantir la puresa constant del gas i l'eficiència operativa en instal·lacions avançades de producció de semiconductors.

Especificacions dels productes

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

Material: 316L en pols
Mida: φ40*196,3 mm
Precisió del filtre: 5 micres
Interfície: VCR1/2"
Tècnica: Sinterització

Característiques dels productes

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces 3

1. Puresa ultra alta i retenció de partícules
- L'estructura d'acer inoxidable sinteritzat (normalment 316L) proporciona un mitjà de filtració net, totalment metàl·lic, sense aglutinants, adhesius ni residus orgànics.
- Capaç de retenció de partícules submicròniques fins a 0,5 μm, evitant que la microcontaminació arribi a les cambres de procés o a les hòsties.
- Sense vessament de partícules, cosa que garanteix un recompte estable de partícules durant un ús a llarg termini.

2. Robusta estabilitat mecànica i tèrmica
- El disseny totalment metàl·lic suporta altes pressions, altes temperatures i cicles tèrmics freqüents.
- Manté la integritat mecànica en condicions de vibració, flux invers o pols de pressió-comuns als sistemes de distribució de gas.
- Compatible amb el seguiment de calor per a línies de gas d'alta temperatura.

3. Netejable i regenerable
- Els elements de filtre es poden rentar a contracor, netejar-se per ultrasons o coure al buit, la qual cosa permet una llarga vida útil en comparació amb els filtres de polímer o ceràmics.
- El cicle de vida típic s'estén entre 5 i 10 vegades el dels filtres de PTFE o PVDF d'un sol ús, minimitzant el temps d'inactivitat i el cost total de propietat.

4. Compatibilitat química i resistència a la corrosió
- 316L'acer inoxidable L manté una pel·lícula d'òxid passiu en ambients de clorur, fluor, amoníac i gasos àcids.
- La superfície no reactiva impedeix l'extracció d'ions metàl·lics o els canvis en la composició del gas.

aplicacions

1. Línies de distribució de gas UHP
- S'instal·la en patins de lliurament de gas a granel, armaris de gas i panells VMB/VMP, filtrant les partícules abans que el gas entri als MFC o a les eines de procés.
- S'utilitza en N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH₃, CF₄ i altres línies de gas d'alta puresa que alimenten processos crítics.

2. Protecció d'entrada del controlador de flux massiu (MFC).
- Evita la contaminació per partícules i el desgast de la vàlvula en controladors de cabal de massa de precisió.
- Millora l'estabilitat del flux a llarg termini i la consistència de calibratge dels MFC.

3. Cambra de procés i entrades de gas de l'eina
- Assegura un lliurament sense partícules i sense humitat als forns CVD, ALD, gravat i difusió.
- S'utilitza a les línies SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃ i TEOS on la puresa és fonamental per a la qualitat i el rendiment de la pel·lícula.

4. Sistemes de gas especial i precursors
- Per a gasos metàl·lics orgànics o basats en halògens on la inercia química i l'estabilitat de la temperatura són crucials.
- Sovint es col·loca després de vaporitzadors o bombolles per capturar partícules o gotes condensades.

Contacta amb nosaltres

Tel: 0917-3873009

Telèfon: +86 18992731201

Correu electrònic:zhangjixia@bjygti.com

Fax: 0917-3873009

Adreça: No. 195, Gaoxin Avenue, High-tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Xina

Whatsapp: +86 18992731201

Etiquetes populars: Cartutxos de filtre en pols d'acer inoxidable de 5 micres amb interfícies VCR 1/2", Xina, proveïdors, fabricants, personalitzats, ús, llista de preus, a la venda, en estoc, mostra gratuïta, material porós

Productes

Cartutxos de filtre en pols d'acer inoxidable de 5 micres amb interfícies de VCR d'1/2 "

Especificacions dels productes

Característiques dels productes

aplicacions

Contacta amb nosaltres